Конспект лекции: Принцип действия тензорезистивных РџРРџ
Р’ РѕСЃРЅРѕРІРµ тензорезистивных первичных измерительных преобразователей (РџРРџ) лежит явление тензоэффекта, заключающееся РІ изменении сопротивления РїСЂРѕРІРѕРґРЅРёРєРѕРІ Рё полупроводников РїСЂРё РёС… механической деформации.
Относительное изменение сопротивления R=ρ(l/S) РїСЂРё деформации тензорезистора определяется РёР· выражения: ΔR/R=Δl/l-ΔS/s+Δ ρ/ ρ (1), РіРґРµ l, S, ρ - соответственно длина, площадь поперечного сечения Рё удельное сопротивление РїСЂРѕРІРѕРґРЅРёРєР°.
Учитывая, что РІ твердом теле РІ Р·РѕРЅРµ СѓРїСЂСѓРіРёС… деформаций величины поперечных Рё продольных деформаций связаны через коэффициент Пуассона μ как εРІ=-μ εl, то выражение (1) РјРѕР¶РЅРѕ представить РІ РІРёРґРµ: ΔR/R=Δ&rho/ρ+(1+2μ) εl (2), РіРґРµ εРІ=ΔРІ/РІ; εl=Δl/l
Для определения Δρ/ρ используем формулу Бриджмена, связывающую удельное сопротивление Рё объем РїСЂРѕРІРѕРґРЅРёРєР°, С‚.Рµ. >Δρ/ρ=C(ΔV/V), РіРґРµ РЎ - константа Бриджмена .
РќРѕ так как V=Sl, то Δρ/ρ=C(1-2μ)(Δl/l) (3)
Подставляя (2) Рё (3) РІ выражение (1), получим номинальную статическую характеристику преобразователя: ΔR/R=[(1+2μ)+C(1-2μ)]&epsilonl; (4)
Так как РЎ=1, μ=0,3, то для РїСЂРѕРІРѕРґРЅРёРєРѕРІРѕРіРѕ тензорезистора коэффициент преобразования K=(1+2μ)+C(1-2μ) будет равен РґРІСѓРј.
Для полупроводникового тензорезистивного РџРРџ удельное сопротивление зависит РѕС‚ механического напряжения σ Рё коэффициента пьезорезистивности π, С‚.Рµ. Δ&rho/ρ=π&sigma=πY(Δl/l), тогда номинальная статическая характеристика его примет РІРёРґ:ΔR/R=(1+2μ+πY)(Δl/l)=πYεl (5), РіРґРµ Y=σ/εl - модуль Юнга.
Для тензорезистора характерна температурная погрешность нуля Рё погрешность тензочувствительности. Рзменение начального сопротивления наклеенного тензорезистора определяется РґРІСѓРјСЏ факторами: изменением удельного сопротивления материала РїРѕРґ воздействием температуры Рё РїРѕРґ действием дополнительного механического напряжения, появляющегося РІ тензорезисторе, если коэффициент линейного расширения детали Рё тензорезистора РЅРµ равны. Если &betalРґ Рё βРї соответственно температурные коэффициенты расширения детали Рё проволоки, то относительная деформация преобразователя , обусловленная изменением температуры РЅР° 1?РЎ, будет равна:
εt=(Δlt/l)(β-βРџ) (6)
Рзменение сопротивления ΔRtσ, обусловленное дополнительной информацией РїСЂРё повышении температуры РЅР° 1° РЎ, равно:
ΔRtσ=SR(Δlt/l)=SR(βР”-βРџ) (7), РіРґРµ S - относительная чувствительность преобразователя.
Рзменение Р¶Рµ сопротивления преобразователя РїСЂРё изменении температуры РЅР° 1°РЎ, обусловленное температурным коэффициентом сопротивления проволоки α, равно: ΔRtρ=Rα
Таким образом, общее сопротивление преобразователя РїСЂРё изменении температуры РЅР° 1°РЎ будет равно: ΔRt=RS(βР”-βРџ)+Rα=R[α+S(βР”-βРџ)] (8)
Основным фактором, определяющим выбор измерительной цепи тензорезисторов, является возможность коррекции температурных погрешностей нуля и чувствительности. Поэтому наиболее распространенной измерительной цепью является дифференциальная мостовая, во все плечи которой включаются тензорезисторы, испытывающие деформации различных знаков, т.е. два работают на растяжение, а два – на сжатие.
Можно выделить две основные области применения тензопреобразователей: исследование физических свойств материалов, деформаций и напряжений в деталях и конструкциях и измерение неэлектрических величин.
Внимание! Каждый электронный конспект лекций является интеллектуальной собственностью своего автора и опубликован на сайте исключительно в ознакомительных целях.